Rambler's Top100



Главная / Спектрометры для элементного анализа / Эмиссионные спектрометры / Масс-спектрометр ЛЮМАС-30

Масс-спектрометр ЛЮМАС-30

Времяпролетный масс-спектрометр с газоразрядной ионизацией ЛЮМАС-30 предназначен для прямого элементного анализа монолитных, тонкослойных и порошковых материалов (металлов, полупроводников и диэлектриков, а также объектов со смешанной слоистой структурой диэлектрик-металл, металл-полупроводник и диэлектрик-полупроводник).

Времяпролетный масс-спектрометр ЛЮМАС-30
Достоинства:

  • возможность регистрации большого числа спектров за время распыления одной пробы, что позволяет улучшить отношение сигнал/шум за счет статистического усреднения зарегистрированных спектров
  • прямой анализ твердых проб, включая растворенные в пробах газы с высокоэкономичным расходом рабочего газа и вещества пробы за счет согласования во времени импульсной ионизации с времяпролетной регистрацией масс-спектра, что позволяет существенно снизить пределы обнаружения
  • высокая эффективность распыления и ионизации элементов пробы в импульсном разряде и, как следствие, низкие пределы обнаружения (50 - 200 ppb)
  • большой динамический диапазон определяемых содержаний элементов (до 7 порядков величины), что на 2-3 порядка лучше пределов обнаружения других методов прямого анализа твердых проб
  • высокоэффективное подавление газовых компонент за счет временной дискриминации и использования водорода, как реакционного газа
  • широкий круг анализируемых объектов, включающий в себя, кроме металлов, диэлектрики и полупроводники. Эта возможность обеспечивается использованием коротких (1-80 мкс) импульсов разрядного тока, позволяющих распылять непроводящие и слабопроводящие электрический ток материалы
  • возможность прямого масс-спектрального анализа послойных неоднородностей самых разнообразных объектов (с послойным разрешением около 3 нм)
  • возможность прямого масс-спектрального анализа многослойных тонкопленочных покрытий
  • отсутствие растворения в процедуре пробоподготовки.

Анализируемые объекты:

  • металлы
  • полупроводниковые материалы
  • диэлектрики
  • объекты со смешанной слоистой структурой диэлектрик-металл, металл-полупроводник и диэлектрик-полупроводник (например, коррозионные пленки на поверхности металла)
  • порошковые пробы.

Области применения спектрометра ЛЮМАС-30:

  • Атомная промышленность (элементный и изотопный анализ радионуклидов, продуктов распада, отходов переработки ядерного топлива); 
  • Медицина, научные исследования (изотопный анализ при производстве изотопно -чистых материалов);
  • Микроэлектроника (анализ сверхмалых содержаний примесей в полупроводниковых материалах (Si, Ge, AsGa...);
  • Производство особо чистых материалов (элементный анализ содержания примесей при производстве металлов, оптических стекол, оптоволокна, сплавов, напыленных поверхностей);
  • Металлургия, нефтехимия (элементный анализ при производстве сплавов цветных металлов и сталей специального назначения с нормируемым содержанием микропримесей);
  • Химия, микроэлектроника, оптика (химический синтез слоистых структур для производства полупроводниковых, оптоволоконных и каталитических материалов).

Технические характеристики:

Балластный газ

Ar или смесь Ar с He и H

Вакуумная система

2 турбомолекулярных насоса (250 л/мин и 70 л/мин)

Время анализа одной пробы

3 - 15 мин

Время выхода на рабочий режим

20 мин

Диапазон измеряемых масс

1 - 400 a.e.m.

Динамический диапазон

7 порядков

Питание

220 В

Погрешность определения

5 - 10 %

Послойное разрешение

3 нм

Потребляемая мощность

3000 ВА

Предел обнаружения

50 - 200 ppb

Расход газа

1 балллон (40 л) в год

Производительность

20 проб в час